财联社（上海，研究员 姚辉）讯，9月17日，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科“）于科创板成功过会。

公开资料显示，华卓精科为国内首家、世界唯二可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商，其已进入国产光刻机厂商上海微电子的供应链。公司主要产品包括精密运动系统、晶圆级键合设备、激光退火设备、静电卡盘等。

值得一提的是，联席主承销商中金公司是华卓精科的第八大股东，持股比例为3.06%。2019年3月，国家大基金一期子基金上海半导体装备材料基金出资4200万元参与了华卓精科的增资，现持有其2.08%的股权。

国盛证券郑震湘等人7月19日发布的研报指出，光刻机市场一直以来在全球设备市场中的比重都较高，具有较高技术难度，并且单台设备价值量也较高，属于半导体制造设备的“皇冠”。

2020年，全球光刻机市场约135亿美元，占全球半导体制造设备市场21%，其中ASML主导全球光刻机市场。国内方面，上海微电子布局前道光刻机设备，2018年公司90nm光刻机项目通过正式验收。

从光刻机格局来看，2020年ASML占据全球光刻机市场84%的市场空间，Nikon约7%，Canon约 5%。ASML具有高度的垄断地位，并且由于EUV跨越式的升级进步，ASML在技术上的领先性更加明显。

公开资料显示，国内研制光刻机整机的厂商为数不多，主要是上海微电子，中国电科旗下的电科装备也有布局。

今日下午最新消息，据上海微电子装备集团官方公众号，昨日，上微举行新产品发布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。目前，上微已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协议，首台将于年内交付。

西南证券研报梳理光刻机产业链各环节，具体如下：