公司2021年7月22日在其官方微信平台发布,全资子公司常州捷佳创精密机械有限公司于2020年9月投资成立创微微电子(常州)有限公司,专门从事集成电路湿法清洗工艺设备的研发、生产和销售,设备主要包含槽式及单晶圆湿法清洗设备。截至目前,公司已取得重要客户在槽式湿法清洗设备上的批量订单,并于2021年7月21日成功交付3套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产。同时正在设计制造中的设备还包含了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式清洗设备及相关附属设备,涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤,包含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前清洗及有机溶剂清洗等,拥有Cassette 与Cassette less 两种类型,覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。
公司2021年7月22日在其官方微信平台发布,全资子公司常州捷佳创精密机械有限公司于2020年9月投资成立创微微电子(常州)有限公司,专门从事集成电路湿法清洗工艺设备的研发、生产和销售,设备主要包含槽式及单晶圆湿法清洗设备。截至目前,公司已取得重要客户在槽式湿法清洗设备上的批量订单,并于2021年7月21日成功交付3套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产。同时正在设计制造中的设备还包含了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式清洗设备及相关附属设备,涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤,包含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前清洗及有机溶剂清洗等,拥有Cassette 与Cassette less 两种类型,覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。