在光刻机领域，公司基于核心技术生产的光刻机曝光物镜用光学器件最大口径可达直径300mm，突破常规透镜尺寸和精度的指标要求，面形精度可达到小于30nm，且在软材料CaF2上也可达到上述面形指标，可以满足KrF、ArF、I线光刻机曝光物镜系统的应用需求。

目前公司生产的光刻镜头可应用于PCB光刻设备。

公司主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统等，功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。在泛半导体领域，公司提供最小线宽在500nm-10μm的直写光刻设备，主要应用于下游IC掩膜版制版以及IC制造、OLED显示面板制造过程中的直写光刻工艺环节。公司服务客户包括深南电路、健鼎科技、胜宏科技、宏华胜（鸿海精密之合（联）营公司）、中国科学院半导体研究所、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国电子科技集团公司第十一研究所等。

公司主要从事激光行业上游的高功率半导体激光元器件、激光光学元器件的研发、生产和销售。公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器，是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商，同时也为多家行业知名半导体集成电路设备科研和生产机构提供相关产品。

公司是ASML的间接供应商，向客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。

公司先进陶瓷材料零部件主要用于半导体制造前道工序，已覆盖刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散设备。公司是上海微电子的主要核心陶瓷零部件供应商，主要向其供应承重固定类及手爪垫片类陶瓷产品。

公司自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种混合气是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司。（2024年9月投资者关系活动记录表）

2025年3月31日公告，星空科技与公司控股股东海南羽明华、实际控制人周军及青岛明琴签署了《股份转让协议》，星空科技拟协议收购转让方持有的合计3049.89万股公司股份，占公司股份总数的24.97%。同日，星空科技的一致行动人陈耀民与海南羽明华签署了《股份转让协议》，陈耀民拟协议受让海南羽明华持有的611.93万股公司股份，占公司股份总数的5.01%。本次股份转让完成后，公司控股股东将由海南羽明华变更为星空科技，上市公司实际控制人将由周军变更为贺荣明。星空科技是国内少数具备AI芯片制造专用大芯片光刻机、芯片键合机、硅片键合机、高精度专用检测设备等高端装备的开发与制造公司，其主要产品部分填补了国内高端装备的空白。

公司结构零部件（基板、冷却板等）多种产品应用于光刻机、涂胶显影设备，主要客户有上海微电子、芯源微。

在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。在激光检测和测量方向，公司产品已进入半导体光刻领域配套检测产业。

公司精密及超精密加工实验中心可进行红外镜片加工、非球面玻璃镜片加工、非球面塑料镜片加工、球面镜片高精度加工、紫外镜片加工等超精密光学加工技术的突破，为高端装备（如光刻机）、国防、航空、航天等领域提供高精密的光学镜头和光学系统。

公司大股东长光所研发光刻机的曝光系统，曝光系统是光刻机的一个核心部件。此外，公司生产的Caf2光学晶体应用范围较广，客户可根据实际需求进行二次开发，产品可以用于光刻机的光学系统中。

在半导体制造设备领域，公司液体恒温设备可应用于光刻机。

公司为开发国内首台28纳米光刻设备的上海微电子所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准（ISO Class 1级）洁净环境提供EFU（超薄型设备端自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过滤器）等产品，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。

公司的半导体真空系统和气体系统可以服务于所有的半导体设备供应商和终端制造商，真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。

在半导体设备领域，公司正在进行应用于光刻机光学系统的合分束器项目研发。

公司曾通过欧洲代理向ASML提供及其少量光学元件。此外，华为是公司的客户，公司在业务范围内向其提供光学元件产品。

公司积极开发如光刻机、机械抛光、涂胶显影等晶圆制造先进制程控制系统。

2024年10月7日公告，全资子公司芯傲华拟以7亿元增资苏州芯慧联半导体科技有限公司，增资后直接持有其46.6667%股权，并通过接受表决权委托方式合计控制其54.6342%股权的表决权。本次交易完成后，芯慧联将成为芯傲华控股子公司，并纳入公司合并报表范围。芯慧联主营涂胶显影机、光刻机等黄光制程设备。

控股子公司荷兰Anteryon公司的光学器件产品主要应用于光刻机半导体设备、工业自动化等应用领域。

公司为光刻机光源系统供应商科益虹源提供电子测试相关产品与服务。

公司于2024年10月在互动平台表示，公司通过子公司浩成创投投资了上海微电子公司22345万元人民币，持有其10.779%的股权。

公司为光刻机等半导体装备生产商提供国产化计算、控制模块和产品。

公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm。

公司控股子公司UCM AG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案。

2023年9月8日公司在互动平台表示，公司上半年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库已获批通过。七月初公司已经中标，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务。

公司在建工程中包括光刻机零部件铸件项目。

公司光刻设备主要为紫外光刻直写设备，公司光刻机从设计、组装以及所用软件的开发，均由本公司自主完成，主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造。其在满足自身需求的基础上，同时也已逐步面向国内外高校和研究所销售；2018年，公司精密光刻设备分别交付安徽大学、湖南大学、中科院病毒所等知名高校与研究所，进一步加大了公司在激光微纳加工领域的影响力。 2023年9月14日公司在互动平台表示，根据相关资讯，佳能等国际厂商拟尝试通过纳米压印技术在部分集成电路领域替代EUV光刻设备实现更低成本的芯片量产，公司已关注到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造领域具备替代传统光刻的应用潜力，并在积极布局。

公司在光刻机方面的研发工作主要由公司控股的美国菲涅尔制版科技公司承担，其研发的光学制版用光刻机在全球范围内独家供应公司使用。

公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力。

公司的电子散热系统可用于光刻机。

公司全资子公司卓立汉光曾中标清华大学的高可靠性紫外光源。

子公司东方超导产品铌超导腔作为粒子加速器的核心部件，被广泛应用于同步辐射光源、自由电子激光、散列中子源等大科学装置。此前清华大学的一项研究描述了一种新型光源整合技术，首次展示了同步辐射光源与自由电子激光这两种主要加速器光源结合后的特性，或可用于实现大功率EUV光源。

和科达半导体专注于半导体专用设备的研发、生产和销售，为半导体先进封装及前道制程的方案解决供应商。主要产品涵盖晶圆清洗设备、匀胶显影设备、无掩膜光刻机、微影光刻机和晶圆去胶机等。

公司一种钨合金产品用于国外某型号光刻机设备中，是该型号光刻机的关键核心部件。

公司为上海微电子装备集团的相关设备提供冷却系统配套，已实现供货。

公司光刻气产品通过ASML子公司Cymer的合格供应商认证。

公司开发的多个型号大功率电子管通过客户验证及实现批量供货，运用于国产光刻机等半导体加工设备领域。

母公司上海电气控股集团有限公司为上海微电子第一大股东，上海微电子有光刻机业务。

公司生产光刻机溶剂PMA，产能为5万吨/年。

公司拥有一种光刻机设备用机械手装置、一种光刻版翻版机及光刻版翻版系统等专利。

全资子公司日本英唐微技术有限公司有5台光刻机，为其生产线设备，主要用于光电转换和图像处理的模拟IC和数字IC产品的研发生产，最小可支持0.35μm工艺。

公司旗下子公司金杜新材料的超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理与其他半导体芯片集成电路的表面处理上。公司2020年11月公告披露，金杜新材料收到上海微电子签署的《外协件采购通用条款》，正式成为上海微电子的合格供应商。

参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的UV LED部分产品有应用于光刻机领域。

公司间接参股的粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟IDM(irtuallDM)为营运策略的12英寸芯片厂，是广州第一条12英寸芯片生产线，已列为广东省、广州市重点建设项目，产品包括模拟芯片、图像传感器、电源管理芯片、功率分立器件等。2019年5月公司在互动平台上表示，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。