证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种控温装置及曝光设备”，专利申请号为CN202420483046.2，授权日为2025年6月13日。
专利摘要：本实用新型公开了一种控温装置及曝光设备，包括机体，该机体内形成有由空气气流组成的首尾相连的风道；设置在风道首端的控温组件，该控温组件能够改变自身的温度且与风道发生热量传递；以及设置在风道流动路径上的曝光组件，该曝光组件能够与风道发生热量交换。本实用新型设置控制系统检测腔体内的温度，进而反馈给控温组件用于调节自身温度，利用热传递将控温组件与散热组件的热量进行交换使得散热组件的温度趋于曝光组件需要的温度，曝光组件通过风道与散热组件进行热传递，实现控温组件间接控制曝光组件温度，使得安装有该控温装置的曝光设备内部温度始终在曝光组件需要的温度上下小范围波动，提高了该曝光设备定位精度以及曝光质量问题。
今年以来芯碁微装新获得专利授权20个，较去年同期增加了42.86%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了9769.71万元，同比增3.34%。
数据来源：天眼查APP
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