招商证券研报指出，国内头部存储和逻辑晶圆厂设备采购有望在2023四季度-2024年持续边际提速，国内设备公司新签订单有望提速。

一、国内28nm加速验证，驱动新一轮扩产潮

中国大陆方面，各大半导体厂商积极扩产。以长江储存、合肥长鑫为代表的大陆存储器厂商，在2020-2022年的投资规模分别达到495亿元、806亿元、1116亿元；中芯国际2020年末启动了中芯京城500亿投资项目。

台积电2021年资本支出计划上调至300-310亿美元，同比增长76%-82%，且未来三年内将投入1000亿美元；三星半导体事业部2021年资本开支计划约为300亿美元，同比增长20%；英特尔宣布将投资200亿美元新建两个晶圆代工厂。

全球晶圆厂大规模扩产，将为上游半导体设备公司带来持续景气的需求。2022年全球半导体设备出货金额相较于2021年的1026亿美元增长5%，创下1076亿美元的历史新高。在手订单数据也反映了设备高景气，比如拓荆科技2022年在手订单46.02亿元，是2022年营收17.06亿元的2.70倍；芯源微2022年新签订单22亿元，创历史新高。

长江证券指出，武汉厂在经过1年多的国产设备验证后，有望于2024年重启扩产，将成为明年国内晶圆厂扩产的最大增量。近期合肥厂也在进行设备长单沟通，订单有望于近期开始逐步落地。年底SMIC北京厂也有望开始招标。2024年除SMIC和两大存储厂外、华虹无锡新厂、其它头部厂也有望开启扩产。从2023四季度开始，对半导体设备整体需求展望乐观。

二、半导体产线中最具价值量环节的是光刻机、刻蚀机、薄膜沉积

据中信证券研报梳理，在半导体设备各细分领域，清洗设备国内厂商包括盛美上海、北方华创、至纯科技和芯源微；CMP设备国内厂商有华海清科、中电科45所；薄膜沉积设备国内厂商有北方华创、拓荆科技；刻蚀设备国内厂商有中微公司、北方华创和屹唐半导体等；涂胶显影设备国内厂商有芯源微；离子注入设备的国内厂商有万业企业、中科信；光刻设备的国内厂商有上海微电子等；过程量检测设备的国内厂商有精测电子等。

从全球半导体设备竞争格局来看，半导体产线中最具价值量环节的是光刻机、刻蚀机、薄膜沉积。这三个领域的海外龙头分别是阿斯麦、拉姆研究、应用材料，形成了稳态竞争格局。浙商证券认为，假以时日，海外发展规律也会在大陆半导体设备市场复刻，对应国内三大领域设备龙头分别是上海微电子、中微公司、北方华创。

三、相关上市公司：华虹公司、北方华创、中微公司

华虹公司是中国大陆特色工艺晶圆代工龙头，产能规模居中国大陆第二；是半导体核心生产环节晶圆代工的大陆主要供应商之一。

北方华创广泛布局刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备。

中微公司在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上，公司的CCP刻蚀设备实现了多次批量销售。