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消息称SK海力士将在1c DRAM生产中采用新型Inpria MOR光刻胶
《科创板日报》30日讯,SK海力士计划在第6代(1c工艺 约10nm)DRAM的生产中使用Inpria下一代金属氧化物光刻胶(MOR),这是MOR首次应用于DRAM量产工艺。消息人士称,SK海力士量产的1c DRAM上有五个极紫外 (EUV) 层,其中一层将使用MOR绘制。他还补充说,不仅SK海力士,三星电子也将追求这类无机PR材料。 (TheElec)
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