财联社5月27日电，光刻机、光刻胶概念盘中扩大涨幅，容大感光、蓝英装备、张江高科、彤程新材等多股涨停，另外强力新材、波长光电、茂莱光学、南大光电、广信材料等十余股涨超10%。