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精度提升至10纳米 我国科学家开发出新型激光切割技术
《科创板日报》8日讯,清华大学精密仪器系孙洪波教授和吉林大学陈岐岱教授联合团队,开发出一种超隐形切割技术,利用激光-物质相互作用过程中的非线性反馈,促进横向的亚波长光场局域化和纵向的能量沉积均匀化,在包括玻璃、激光晶体、铁电体等多种透明材料中实现了横向精度10纳米,深宽比超15000的纳米深加工,将目前该领域国际上文献可查的加工精度提升了10至100倍。
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