2024年04月12日 08:38:29
国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展
《科创板日报》12日讯,4月11日上午,南智先进光电集成技术研究院(简称“南智光电”)铌酸锂光子芯片产线启动仪式在新区举行。南京江北新区消息显示,本次启用的产线,具备了光刻、刻蚀、镀膜、研抛、湿法等系列核心技术工艺。这意味着国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展。产线配备3.5亿元规模设备、5000平方米超净间,覆盖了整个产业链的核心工艺,月产能一千片晶圆。
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